我們九域半導(dǎo)體公司申請(qǐng)獲得了發(fā)明榮譽(yù)，摘要顯示，本發(fā)明公開了一種基于渦流法探頭的薄晶錠電阻率檢測(cè)方法，涉及半導(dǎo)體測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，解決了在部分情況下待測(cè)薄晶錠對(duì)應(yīng)電阻率的測(cè)量出現(xiàn)偏差的問題，包括對(duì)待測(cè)薄晶錠進(jìn)行電學(xué)檢測(cè)，分析得到待測(cè)薄晶錠的計(jì)算表面電阻率；基于待測(cè)薄晶錠的計(jì)算表面電阻率識(shí)別待測(cè)薄晶錠的薄晶錠種類，結(jié)合趨膚效應(yīng)計(jì)算待測(cè)薄晶錠的趨膚深度；設(shè)定多組與待測(cè)薄晶錠相似的對(duì)照薄晶錠，對(duì)多組對(duì)照薄晶錠進(jìn)行渦流法測(cè)試，基于測(cè)試結(jié)果計(jì)算對(duì)照薄晶錠的補(bǔ)償系數(shù)；基于補(bǔ)償系數(shù)計(jì)算擬合方程并寫入上位機(jī)，結(jié)合擬合方程計(jì)算待測(cè)薄晶錠的實(shí)際電阻率，本發(fā)明實(shí)現(xiàn)對(duì)待測(cè)薄晶錠對(duì)應(yīng)電阻率的準(zhǔn)確測(cè)量，同時(shí)還實(shí)現(xiàn)待測(cè)薄晶錠對(duì)應(yīng)電阻率的自動(dòng)化與智能化測(cè)量